Томский ядерный кремний


В Томском политехе запустили совершенно уникальное производство
12 сентября 2022

В Томском политехе запустили совершенно уникальное производство. На исследовательском реакторе университета ввели в промышленную эксплуатацию комплекс по ядерному легированию кремния — полупроводника для электроники.

Уникальность в размере слитков кремния. На реакторе ТПУ теперь могут облучать слитки диаметром больше 200 мм. Это пока вообще предел для ядерных установок. В мире с таким диаметром работают только три центра, в России реактор ТПУ стал первой производственной площадкой.
Запустили комплекс в работу 7 сентября в рамках Дней атомной науки и технологий, приуроченных к 55-летию исследовательского реактора ТПУ — единственного действующего вузовского реактора в стране.

Дмитрий Седнев, и.о. ректора Томского политеха, специально для «Научно-образовательной политики»:

«Этот комплекс — очевидный технологический шаг вперед. Первая установка по легированию кремния, а этот процесс собственно делает кремний полупроводником, появилась на нашем реакторе еще в 80-е годы. С 2010-х годов университет уже производил около 3-5% мирового объема легированное кремния. И мы давно видели запрос на облучение кремния в слитках большего диаметра, до этого максимум был 128 мм. Диаметр влияет на мощность конечного устройства и на стоимость. И на 200 мм у нас давно есть спрос от российских и китайских производителей полупроводников».

Артем Наймушин, начальник учебно-научного центра «Исследовательский ядерный реактор» ТПУ для «Научно-образовательной политики»:

«В общей сложности работы по новому комплексу заняли около пяти лет. Сегодняшнему запуску предшествовали скрупулезные расчеты, исследования, два года опытной эксплуатации комплекса. Само его создание стало возможным благодаря предшествующей модернизации реактора по федеральной целевой программе. Новый комплекс рассчитан на 4 тонны в год, производственная линия на 128-мм также остается востребованной и загруженной».