В 2000 году академик Жорес Алферов получил Нобелевскую премию за разработку полупроводниковых гетероструктур. А сегодня они – неотъемлемая часть всей техники, где используют полупроводники: телефонов, фотоприемников, СВЧ-приборов, навигационного оборудования и пр.
Однако наша страна практически оказалась в положении пресловутого «сапожника без сапог»: открытие сделано российскими учеными, но в промышленном производстве мы пользуемся преимущественно гетероструктурами, выращенными за рубежом. Эта проблема даже стала поводом для разработки специальной федеральной целевой программы по развертыванию такого производства на базе московского НПП «Квант» (прежде всего, для нужд отечественной космонавтики).
Между тем, уже несколько лет в новосибирском Институте физики полупроводников им. Ржанова СО РАН изготавливают сверхвысоковакуумную установку «Катунь» для их синтеза. Эта установка была спроектирована и подготовлена к производству полностью силами коллектива сотрудников ИФП СО РАН во главе с ведущим инженером-конструктором Виктором Блиновым.
- Наши установки не зря называют сверхвысоковакуумными, – объяснил заведующий лабораторией эпитаксии полупроводниковых материалов, к.ф.-м.н. Александр Никифоров. – Для сравнения, на орбите, где расположена Международная космическая станция, вакуум плотнее примерно в 100 тысяч раз. В результате того уровня вакуума, который достигается в камере установки «Катунь», нам удается выпускать гетероструктуры нужного уровня качества.
Еще одним достоинством установки является ее цена: «Катунь» обходится заказчику на 20-30% дешевле, чем зарубежные аналоги. К тому же, она постоянно дорабатывается – за последние годы на Опытном заводе СО РАН было собрано несколько поколений «Катуни» в самой разной комплектации. В зависимости от пожеланий заказчика, установка может состоять из нескольких специализированных камер и выращивать гетероструктуры с разными параметрами и различной скоростью роста.
Всего институтом была изготовлена 41 установка, которые сегодня эксплуатируются в России и ряде стран ближнего и дальнего Зарубежья (от Дальнего Востока до Польши).
- Эти установки приобретают в основном университеты и научные центры, – продолжает рассказ Александр Никифоров. – А в промышленности пока нет особого спроса, потому что и российских предприятий, выпускающих микроэлектронику на основе гетероструктур, тоже почти нет.
Впрочем, если такие предприятия, наконец, в стране появятся, ученые ИФП способны в течение пары лет наладить выпуск промышленной версии «Катуни». Что касается потенциальных объемов рынка, приведем один пример: для строящегося в Томске завода по производству светодиодных ламп собираются купить порядка 20 установок для роста гетероструктур. Сегодня речь идет о приобретении импортного оборудования. Но ситуация вполне может измениться: ведь если российская промышленность выступит с соответствующим запросом, новосибирские ученые с радостью ей помогут.
Георгий Батухтин
- Войдите или зарегистрируйтесь, чтобы отправлять комментарии